适应行业:电子
净化方案一: 组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。十万级等较低的净化
方案特点:
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。十万级等较低的净
净化方案二: 水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。级等
方案特点:
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。十万级等较低的净
净化方案三: 分体空调柜机+FFU送风口
这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。级等较低的
方案特点:
A、无尘车间的洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。 B、温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。 C、新风量大 D、送风量大
电子无尘净化车间洁净等级说明
等级 | 等级说明及车间应用 |
1级 | 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精确要求为亚微米 |
10级 | 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业 |
100级 | 很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗 |
1000级 | 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等 |
10000级 | 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用 |
100000级 | 十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间 |
洁净室(区)空气洁净级别表
洁净度级别 | 尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物最大允许数浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100级 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10,000级 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100,000级 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300,000级 | 10500000 | 60000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数
换气次数: | 100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次 | 压差: | 主车间对相邻房间≥5Pa |
平均风速: | 10级、100级0.3-0.5m/s | 温度: | 1冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃ 温度45-65% GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜 电子车间湿度略高以免产生静电 |
噪声: | ≤65dB(A) | ||
新风补充量: | 新风补充量是总送风量的10%-30% | ||
照度: | 300LX |
电子无尘净化车间配套设备材料
风淋室
垂直式洁净工作台
水平式洁净工作台
货淋室
有隔板高效过滤器
FFU层流罩
电子无尘净化车间设计规范
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。光学微电子净化工程一般包括:
1、 洁净生产区
2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
电子净化工程净化原理
光学微电子净化工程结构材料:
1、 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、 地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3、 送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、 高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
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